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数控堆焊机合金钝化效果的探讨
作者:管理员    发布于:2016-07-12 07:41:46    文字:【】【】【
数控堆焊机合金的折射率影响,实验研究了一种以等离子态的氨气为气氛的氢钝化技术,对数控堆焊机合金前钝化、镀膜后和其它钝化参数进行实验对比,提升了硅片的少子寿命和短路电流等参数,并提升电池转换效率0.16%;最后进行了叠层镀膜工艺的研究,先研究了双层氮化硅薄膜技术,降低电池反射率同时使得钝化效果也一定提升。
主要针对数控堆焊机合金及其相关钝化技术进行研究,主要内容为:首先研究了常规氮化硅镀膜工艺中,镀膜温度、镀膜压力、镀膜功率和硅烷氨气流量比效率提升0.13%,然后进行了三层膜技术研究,相比双层膜钝化效果类似,但取得了600nm以下短波段更好的减反效果,更多的光吸收最终使得效率提升0.34%,最终以三层膜技术为主体,加入氨气氢钝化技术,并对数控堆焊机合金工艺进行调节匹配,效率与常规单层氮化硅薄膜工艺相比,效率提升0.4%以上。
利用等离子体增强化学气相沉积法制备了镶嵌于氮化硅的高密度纳米硅薄膜,并以此作为发光有源层构建基于p-Si/氮化硅基发光层/AZO结构发光二极管,在室温下观察到了数控堆焊机合金电致可见发光.在此基础上,在器件p-Si空穴注入层与氮化硅基发光层之间加入纳米硅薄层作为空穴阻挡层,研究器件电致发光性质,实验结果表明器件的发光强度显著增强,并且发光效率较无纳米硅阻挡层的发光器件提高了80%以上. 
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